Quartz Crucible
石英るつぼ
石英るつぼ
純度が高く耐熱性に優れている石英ルツボは単結晶シリコンの引き上げにおいて必要不可欠な部材です。その性能は単結晶シリコン歩留りに大きな影響を与え、Ferrotec(中国)坩堝事業部はお客様の歩留り向上のニーズに対応するため、たゆまぬ技術革新を通して、大きなブレークスルーを遂げました。我社が開発した四シリーズの石英ルツボはお客様の多様な単結晶シリコン引き上げプロセスニーズに応えられます。ルツボのサイズは、14inch から32inchまで対応可能、お客様のニーズによってさらに大きなサイズにも対応できる技術を持っています。加工ラインにおいては、三年間の開発ののちに全自動の生産ラインを構築し、石英るつぼの品質安定に寄与しています。
製品ラインナップ
AQM-10シリーズ
内側を透明コーティングした天然石英ルツボ。
AQM-20シリーズ
高純度天然石英ルツボ、AQM-10製品をベースに、高純度天然砂を増やし内側表面の純度が高い。
AQM-30シリーズ
合成石英坩堝、内側表面の純度はさらに高い。ハイグレードインゴットの引き上げに適合する。
AQM-40シリーズ
内側表面を結晶化させた天然石英ルツボ、リチャージプロセスに適し長時間使用可能。
製品の寸法と仕様
| 項目/Item | 16” | 18” | 20” | 22” | 24” | 26” | 28” | 32” | |
| 外径 Outer diameter （mm） |
D1 | 404±2 | 457±3 | 507±3 | 556±3 | 611±3 | 656±3 | 705±3 | 810±3 |
| D2 | 404±2 | 457±3 | 507±3 | 556±3 | 611±3 | 656±3 | 705±3 | 810±3 | |
| 厚度 Thickness （mm） |
T1、T2 | 8.5±2 | 9±2 | 10(-2/+3) | 11(-2/+3) | 11(-2/+3) | 12(-2/+3) | 13(-2/+3) | 16±4 |
| TR | 8.5±2 | 10±2 | 11(-2/+3) | 12(-2/+3) | 12(-2/+3) | 12(-2/+3) | 13(-2/+3) | 23±5 | |
| TB | 8.5±2 | 10±2 | 11(-2/+3) | 12(-2/+3) | 12(-2/+3) | 12(-2/+3) | 13(-2/+3) | 16±4 | |
| 真空透明層 Vacuum transparent layer （mm） |
W | ≧2.5 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 |
| R | ≧2.5 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | |
| B | ≧2.5 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | |
| R形状 R shape |
R1 | 90 | 120 | 90 | 110 | 120 | 120 | 120 | 160 |
| R2 | 406 | 500 | 508 | 558 | 610 | 660 | 711 | 810 | |