Silicon Parts
シリコンパーツ
SiFusion Polysilicon Injectors
SiFusion ポリシリコンインジェクター
石英ならにびSiCより優れたパフォーマンス
SiFusionポリシリコンインジェクターは、拡散炉やLP-CVDプロセスにプロセスガスを供給する炉内の冶具として機能します。
機械的強度が高く、1350°Cまでの温度で塑性変形しないため 、SiFusionインジェクターは、現在の石英およびSiCより優れた代替品です。
SiFusionインジェクター
- ・インジェクターの突発性パーティクルのバーストを改善
- ・高温での変形ならびに、破損することが無い
- ・お客様の仕様に合わせて構成が可能となります。
- ・IR透過性-サーマルシャドウイングを低減
- ・PMサイクルの長寿命化
