Silicon Parts
シリコンパーツ
SiFusion Polysilicon
Furnaceware
石英、SiCよりも優れたパフォーマンス
- SiFusionポリシリコンファーネスウェアは、石英およびSiCの消耗品でこれまで利用できたものよりも優れたパフォーマンスを提供します。
- すべてのSiFusion製品は、高純度なポリシリコン材料で構成されているため、純度、低メンテナンス、所有コスト、および環境への影響を用途により選択できます。製品ラインナップとして、200 mmおよび300 mmのすべての縦型炉アプリケーション用のコンポーネントが含まれています。
- SiFusionファーネスウェアは、東京エレクトロン（TEL）、KE、アビザ、ASMを含むすべての主要OEM炉のホットゾーンに簡単に設置できるように設計および製造されています。
SiFusion Product Suite
SiFusion製品ラインナップ
