Silicon Parts

シリコンパーツ

SiFusion Polysilicon Pedestals

SiFusion ポリシリコンぺディスタル

高純度、高性能の代替品

SiFusionポリシリコンぺディスタルは、拡散および熱処理中にボートを保持する冶具です。すべてのSiFusion製品と同様に、これらのぺディスタルは、石英およびSiC冶具の高純度で高性能な代替品です。

SiFusionぺディスタルは以下を表します

  • ・150 mm、200 mm、300 mmの縦型ファーネスで実績のあるパフォーマンス
  • ・お客様の仕様により、溝の数、ピッチ、長さ等は自由に設計が可能です。
  • ・本製品から発生するパーティクルはございません。
  • ・PMの必要はございません。