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SiFusion製品は石英やSICの製品に対して多くの優位性を持ちます。

• ・ウエーハ同じ熱膨張率（CTE）を持つため、ポートのロードアンロード時、及び昇障温時に起こる膜と下地の熱膨張の差を無くし、膜ストレスによる悪影響を無くす。高温処理においては、スリップの一因であるウエハ裏面の擦り傷を低減。
• ・SiC製品と異なり、内部まで高純度ポリシリコンため、表面に傷や欠けが出来ても、不純物の問題が無いため使用可能。
• ・爪や足が破損した場合には、部品を交換することが出来るために、ポート全休を廃棄する必要がございません。